仪器名称

3D轮廓仪

英文名称

MicroXAM

型号

美国ADE Phase-Shift MicroXAM

技术指标

放大倍数：2.5x~50x

重复精度：0.1nm

轮廓范围：1nm~10nm

应用领域

微观二维（2D）和三维(3D)形貌轮廓获取。

测量功能：空隙率，缺陷密度，磨损轮廓，截面积等，体积（孔深，点蚀，图案化表面，材料表面磨损体积以及球状和环状工件表面磨损体积等）、台阶高度、线与面粗糙度,透明膜厚、薄膜曲率半径以及其它几何参数等测量数据。

广泛应用于材料、微/纳米器件、化学、医学、生物工程、航空航天、环境、地理学、能源、涂料（层）、橡胶、塑料、陶瓷、电子、微电子、光电子、汽车等领域的应用

功能特色

真正的非接触式三维测量，高速扫描，无需制样，无需真空，金属非金属均可，快速直观。