仪器名称

能谱仪（EDS）

英文名称

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型号

美国 Sirion 200 (SEM)& INCA X-Act (EDS)

技术指标

电镜分辨率：1.5nm @ 15kV；2.0nm @ 10kV；3.0nm @ 5kV

加速电压： 500V～30kV

束流大小： zui大20nA

电镜物镜模式： 磁浸入模式UHR、无磁场模式HR

电镜检测器：高真空二次电子检测器(SE)、极靴内二次电子检测器(TLD)、极靴内背散射电子检测器(TLD-B)、四分固体式背散射电子探测器(BSE)、样品室红外CCD探测器

能谱分辨率：129eV(Mn Kα)

能谱元素检测范围： B5～U92

应用领域

固体样品的微观形貌、结构，样品的微区元素成份及线分布、面分布，广泛应用于纳米技术、材料、物理、生物、化学、热能、地球科学、环境、光电子等领域。粉末、微粒样品形态的测定 金属、陶瓷、矿物、水泥、半导体、纸张、塑料、食品、农作物、细胞等材料的显微形貌分析；复合材料界面特性的研究；材料中元素定性分析、定量分析、线分析、面分析 材料及电子器件失效分析

功能特色

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