仪器名称

X射线电子能谱（XPS）

英文名称

X-ray photoelectron spectroscopy 

型号

岛津 AXIS UltraDLD 

技术指标

能量分辨率：0.48 eV/(Ag 3d5/2），0.68 eV/(C 1s)

zui小分析区域（收谱） <10μm

灵敏度（Ag 3d5/2）：大面积 11,800kcps (1.3eV )

空间分辨率 (快速平行成像 )：小于3μm

空间分辨率(扫描成像)：15μm 和27μm

应用领域

多功能X射线光电子能谱仪可以提供有关固体表面和界面的化学信息。可以分析除氢、氦以外的所有元素，包括元素种类及价态。并可以提供测定元素相对含量的半定量分析。

广泛应用于研究聚合物、无机化合物、有机化合物、催化剂、涂层材料、纳米材料、矿石等各种材料。

功能特色

能分析小至10μm的微小区域；能进行在1nm~数nm深度分辨率下分析到μm量级深度的深度剖面分析